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CC-Link｜Device station｜Miscellaneous
0x4D（진공밸브）／612시리즈 버터플라이・컨트롤・밸브
버터플라이컨트롤밸브, APC（자동압력제어), 진공버터플라이컨트롤밸브시스템, CC-Link 인터페이스 압력제어
적용범위：SEMI,FDP.SOLAR.PV（Etch, CVD）
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