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VAT Vakuumventile AG

0x4D(真空バルブ)/612シリーズ バタフライ・コントロール・バルブ

バタフライ・コントロール・バルブ、APC(自動圧力制御)、真空バタフライ・コントロール・バルブ・システム、CC-Linkインターフェイス、圧力制御
適用範囲:SEMI、FDP、SOLAR、PV(Etch、CVD)

特長

  • 超高速・高精度圧力制御
  • システム・パラメーター自動記憶
  • プラズマ着火用ホールド機能
  • バルブ位置制御
  • 圧力センサー用入力
  • 停電用オプション
局種別 リモートデバイス
占有局数 1局~4局
プロトコルバージョン Ver. 2.0
外形寸法 612 DN40:257 x 124 x 90[mm]
612 DN50:267 x 124 x 90[mm]
612 DN63:329 x 130 x 90[mm]
612 DN80:450 x 145 x 90[mm]
612 DN100:371 x 165 x 90[mm]
612 DN160:447 x 225 x 90[mm]
612 DN200:523 x 285 x 90[mm]
質量 612 DN40:2.6[Kg],612 DN50:3[Kg],612 DN63:4.1[Kg],612 DN80:4.7[Kg],612 DN100:5[Kg],612 DN160:7.2[Kg],612 DN200:8.1[Kg]
標準価格