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CC-Link｜デバイス｜その他
0x4D（真空バルブ）／612シリーズ バタフライ・コントロール・バルブ
バタフライ・コントロール・バルブ、APC（自動圧力制御）、真空バタフライ・コントロール・バルブ・システム、CC-Linkインターフェイス、圧力制御
適用範囲：SEMI、FDP、SOLAR、PV（Etch、CVD）
- CC-Link協会
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バタフライ・コントロール・バルブ、APC（自動圧力制御）、真空バタフライ・コントロール・バルブ・システム、CC-Linkインターフェイス、圧力制御
適用範囲：SEMI、FDP、SOLAR、PV（Etch、CVD）